-初心者のための- クリーンルーム入門

-初心者のための- クリーンルーム入門
作者:
出版社/メーカー: 日本工業出版
発売日: 2010/07
メディア: 単行本

＜目次＞

• 第1章 クリーンルーム設計の予備知識
  クリーンルームとは / クリーンルームに使用される構成部材・関連設備 / クリーンルーム関連計測機器・用品


• 第2章 クリーンルームの計画・設計
  クリーンルームの計画 / クリーンルームの設計


• 第3章 クリーンルームの施工
  クリーンルーム施工のポイント / クリーンルーム施工の合理化 / クリーンルームの安全性


• 第4章 クリーンルームの性能評価
  クリーンルームに関する規格類 / 性能評価試験 / 空気中の分子汚染物質(AMCs)


• 第5章 クリーンルームの維持管理
  モニタリングと作業者の管理 / 衣服・清浄化・設備